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半导体 / 液晶显示器加工设备

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照片:   抛光板

抛光板

刚性高和耐化学性强可长期使其表面不变形。
  • 高刚度
  • 耐磨性
  • 耐化学性
  • 晶圆抛光
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照片:   碳化硅(SiC)抛光板

碳化硅(SiC)抛光板

抛光板具有较高的导热性和较低的热膨胀性。
  • 导热性强
  • 热膨胀低
  • 高刚度

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    照片:   反等离子体材料

    反等离子体材料

    良好的等离子体阻抗能延长零部件的使用寿命。
    • 等离子体阻抗
    • 介电损耗低
    • 制程腔体零部件
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    照片:   抛光磨垫校正平台

    抛光磨垫校正平台

    良好的耐磨性,带有光学微刺
    • 使用寿命长(耐磨)Hv=5000
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      照片:   液晶显示工艺设备用大型零部件

      液晶显示工艺设备用大型零部件

      生产大型结构零部件,具有良好的刚性和精度。
      • 高刚度
      • 反射小
      • 玻璃夹持
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      照片:   钟形汽室、腔

      钟形汽室、腔

      高纯度和良好的等离子体阻抗可延长零部件的使用寿命。
      • 等离子体阻抗
      • 电气特性均匀
      • 腔零部件
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      照片:   真空吸盘、集成净水反光镜、净水零部件

      真空吸盘、集成净水反光镜、净水零部件

      运输行业用零部件具有高纯度和良好的耐化学性。可制成各种表面形状,在各种操作条件下使用。
      • 精度高
      • 热膨胀低
      • 高比刚度
      • 晶圆夹持
      • 运输
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      照片:   静电夹盘(ESC)

      静电夹盘(ESC)

      高纯度、良好的等离子体阻抗和防卡紧特性适合广泛的温度范围。
      • 等离子体阻抗
      • 晶圆夹持
      • 平面度校正
      • 冷却
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      照片:   加热器

      加热器

      高纯度、良好的等离子体阻抗和热均匀性。
      • 等离子体阻抗
      • 导热性强
      • 热均匀性
      • 晶片加热器
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      搬运臂

      真空吸附夹具的类型;可使用各种涂层。
      • 耐温性佳
      • 晶圆运输
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